產(chǎn)品列表
  • 產(chǎn)品名稱:晟爾斯sensaras多點(diǎn)超聲波液位計(jì)

  • 產(chǎn)品型號(hào):PLS960(PLS9600)
  • 產(chǎn)品廠商:晟爾斯sensaras
  • 產(chǎn)品文檔:
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簡(jiǎn)單介紹:
晟爾斯sensaras多點(diǎn)超聲波液位計(jì)PLS960(PLS9600)主要用于半導(dǎo)體工業(yè)中PVD、CVD、ALD等工藝所需的起泡器和安瓿瓶等容器罐內(nèi)高純度化學(xué)品液位的高精度和高可靠性的測(cè)量。
詳情介紹:

晟爾斯sensaras多點(diǎn)超聲波液位計(jì)PLS960(PLS9600)的產(chǎn)品描述 

超聲波侵入式多點(diǎn)液位系統(tǒng)主要用于半導(dǎo)體工業(yè)中PVD、CVD、ALD等工藝所需的起泡器和安瓿瓶等容器罐內(nèi)高純度化學(xué)品液位的高精度和高可靠性的測(cè)量。液位系統(tǒng)在化學(xué)氣相沉積過(guò)程中至關(guān)重要,如ALD,CVD,PVD等半導(dǎo)體晶圓制造過(guò)程。PLS960系列多點(diǎn)液位系統(tǒng)專業(yè)用于檢測(cè)非常昂貴的超高純度化學(xué)品(DMAH、TAETO、CVD、TDEAT、CUTMUS、DTEOS、DECT、TCA和金屬化初級(jí)粒子等)的準(zhǔn)確數(shù)量,減少化學(xué)廢物,增加產(chǎn)量和利潤(rùn)。



 產(chǎn)品特點(diǎn) 
 

  • 通過(guò)超聲波回波處理技術(shù)檢測(cè)液體在容器中的存在狀態(tài)
  • 不受被測(cè)物的介電常數(shù)、顏色、密度和粘度等參數(shù)影響
  • 探頭采用316L 不繡鋼材質(zhì),通過(guò)?”或?” VCR與容器連接
  • 探頭采用套筒式或叉式結(jié)構(gòu),一體式設(shè)計(jì),無(wú)可移動(dòng)部件
  • 模塊與探頭分離,無(wú)需校準(zhǔn),易安裝
  • 獨(dú)有的套管設(shè)計(jì)可根據(jù)用戶不同點(diǎn)位的要求定制



晟爾斯sensaras多點(diǎn)超聲波液位計(jì)PLS960(PLS9600)的 主要應(yīng)用 
 

  • 多點(diǎn)液位測(cè)量
  • 高位/溢出報(bào)警
  • 低位/停止、再進(jìn)料
  • 半導(dǎo)體行業(yè)和醫(yī)藥制藥行業(yè)



 技術(shù)規(guī)格 

電路:    輸       入: 24VDC
            輸       出: 每點(diǎn)1A SPDT
                               1A SPDT 報(bào)錯(cuò)點(diǎn)或自動(dòng)進(jìn)料/退料
                                本地溫度顯示可選
                                可高達(dá)7點(diǎn)液位顯示和報(bào)錯(cuò)顯示
                                針對(duì)不同液體也無(wú)需校準(zhǔn)
            重  復(fù)  性: +/- 0.04”(1mm)(典型)
            精        度: +/- 0.06 (1.5mm)
            電流消耗:*大250mA(典型)

探頭:    材        質(zhì): 316L不銹鋼
            3/4" VCR連接結(jié)構(gòu)可達(dá)到7個(gè)液位檢測(cè)點(diǎn)
            1/2" VCR連接結(jié)構(gòu)可達(dá)到4個(gè)液位檢測(cè)點(diǎn)
            多于7個(gè)點(diǎn)的檢測(cè)請(qǐng)與我們聯(lián)系,可定制達(dá)16個(gè)點(diǎn)
            K-type SLE 溫度傳感器(可選)
            *低液位檢測(cè)點(diǎn)可置于探頭末端向上5毫米
            兩個(gè)液位檢測(cè)點(diǎn)*小距離可為2.5毫米
            *大長(zhǎng)度: 600毫米,若需更長(zhǎng)尺寸與我們聯(lián)系
            溫        度: 0° to 125°C (標(biāo)準(zhǔn)),達(dá) 160°C的定制請(qǐng)與我們聯(lián)系


 尺寸圖  




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